我司的氧化铌靶材采用先进的真空热压、热等静压、冷压烧结和热喷涂工艺生产,产品包括矩形靶、圆弧靶和管靶等类型。
纯度:99.99%;
形状:圆柱形、平面;
冷压烧结平面靶材尺寸:长宽范围10-600毫米(可根据客户的尺寸定制)。
管靶尺寸:外径50-160mm,厚度4-17.5mm ;长度200-4000mm(可根据客户的尺寸定制);
密度:4.3 g/cm3~4.5g/cm3,相对密度>99%;
电阻率:小于0.1 ohm.cm(20 ℃) ;
工艺:氧化铌旋转靶采用等离子喷涂工艺,氧化铌平面靶采用冷压烧结、真空热压、热等静压三种工艺均可提供 ;
用途:氧化铌靶材,主要用于薄膜太阳能、光学玻璃镀膜、触摸屏AR膜、LOW-E玻璃膜(低辐射玻璃)、半导体、触摸屏、平板显示器、工具装饰镀膜等。
氧化铌靶 Niobium oxide target |
性能 Product performance |
|
化学成分/at% Composition |
Nb2Ox,x=4.5~4.8 | |
纯度/% Purity |
99.99 | |
密度/g/cm3 Density |
≥4.5 | |
晶粒度/μm Grain size |
≤5 | |
金属杂质总和/ppm Total content of metallic impurities |
≤100 | |
电阻率/Ω.cm Resistivity |
5×10-4 | |
规格尺寸/mm Size |
平面靶 Planar target |
热等静压/热压,≤500×250 Hot isostatic pressing/Hot pressing |
旋转靶 Rotating target |
热喷涂成形 thermal spraying 长度Length≤4000 厚度Thickness≤10 |