磁性与铁电薄膜基片

蓝宝石(Al2O3)晶体基片

产品简述:

蓝宝石(Sapphire,又称白宝石,分子式为Al2O3)单晶是一种优秀的多功能材料。它耐高温,导热好,硬度高,透红外,化学稳定性好。广泛用于工业、国防和科研的多个领域(如耐高温红外窗口等)。同时它也是一种用途广泛的单晶基片材料,是当前蓝、紫、白光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)工业的首选基片(需首先在蓝宝石基片上外延氮化镓薄膜),也是重要的超导薄膜基片。除了可制作Y-系,La-系等高温超导薄膜外,还可用于生长新型实用MgB2(二硼化镁)超导薄膜(通常单晶基片在MgB2 薄膜的制作过程中会受到化学腐蚀)。

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  蓝宝石(Sapphire,又称白宝石,分子式为Al2O3)单晶是一种优秀的多功能材料。它耐高温,导热好,硬度高,透红外,化学稳定性好。广泛用于工业、国防和科研的多个领域(如耐高温红外窗口等)。同时它也是一种用途广泛的单晶基片材料,是当前蓝、紫、白光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)工业的首选基片(需首先在蓝宝石基片上外延氮化镓薄膜),也是重要的超导薄膜基片。除了可制作Y-系,La-系等高温超导薄膜外,还可用于生长新型实用MgB2(二硼化镁)超导薄膜(通常单晶基片在MgB2 薄膜的制作过程中会受到化学腐蚀)。

蓝宝石(Al2O3)主要性能参数

晶系

六方晶系

晶胞常数

a=4.748Å  c=12.97Å

密度

3.98(g/cm3)

熔点

2040℃

生长方法

提拉法,泡生法

莫氏硬度

9

折射率

300K时,    ∥C,1.762 @630nm

⊥C,1.770 @630nm

热膨胀系数

5.8x10-6/K

热导率(卡/度 厘米 秒)

 

⊥c

//c

23℃

0.055

26℃ 0.060

77℃

0.040

70℃ 0.041

损耗角正切

293K时

1×10-4(1MHz)

介电常数

*103—109Hz @25℃

∥C,11.5

⊥C,9.3

透过率

Ø  80%@ 400~4000nm

晶向

A-plane

<11-20>

2.379A

R-plane

<1-102>

1.740A

M-plane

<10-10>

1.375A

C-plane

<0001>

2.165A

晶向公差

±0.5°

常规尺寸及公差

10×3,10×5,10×10,15×15,20×15,20×20,

常规厚度及公差

0.5mm,1.0mm

抛光

单面或双面

表面粗糙度

Ra<5Å(5×5μm)

包装

100级洁净袋,1000级超净室

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