钛酸锶（SrTiO3）单晶基片是当前应用最广的优秀高温超导单晶基片之一。它与YBaCuO等高温超导材料的晶格匹配好，无孪晶结构，物理、机械性能优良。使用多种制膜技术（如磁溅射，脉冲激光沉积，激光分子束外延等）制作的多种高温超导薄膜（Y-系，Bi－系，La-系等）均可得到 TCO≥90°K, JCO≥106A/cm2等指标。SrTiO3也是高温超导结技术（使用双晶基片或台阶状基片）及基片台阶化（按特定角度斜切并热处理）的首选单晶材料。

钛酸锶（SrTiO3）单晶基片主要性能参数

生长方法	火焰法
晶格常数	a=3.905Å
熔点（℃）	2080
密度	5.175（g/cm3）
硬度	6（mohs）
热膨胀系数（/℃）	9.4×10-6
介电常数	300
化学稳定性	在水中不溶解
正切损耗	~5×10-4（300k） ~3×10-4（77k）
颜色及外观	透明（根据退火状态有时有轻微的棕色）无鸾晶
尺寸	10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm 可按照客户需求，定制特殊方向和尺寸的基片
厚度	0.5mm、1.0mm
抛光	单面或双面
晶面定向精度	±0.5°
边缘定向精度	2°（特殊要求可达到1°以内）
取向	<100>、<110>、<111>等
包装	100级洁净袋，1000级超净室